Selektive Kappenbildung für Kupfer-Verdrahtung

WO2005004234 Art A1 13. Januar 2005

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005004234
Aktenzeichen
EP04741820
Anmeldetag
17. Juni 2004
Veröffentlichung
13. Januar 2005
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/768H01L21/288H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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