Method and device for spectrally separating lines of a light beam, in particular of a laser light beam

WO2005006057 Art A1 20. Januar 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005006057
Aktenzeichen: EP03817406
Anmeldetag: 16. August 2003
Veröffentlichung: 20. Januar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/28G02B6/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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