Laser Pulse Picking Employing Controlled Aom Loading

WO2005006422 Art A1 20. Januar 2005

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005006422
Aktenzeichen: EP04751409
Anmeldetag: 5. Mai 2004
Veröffentlichung: 20. Januar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/268B23K26/08H01S3/00B23K26/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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