Polishing apparatus

WO2005007342 Art A1 27. Januar 2005

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005007342
Aktenzeichen
EP04747780
Anmeldetag
14. Juli 2004
Veröffentlichung
27. Januar 2005
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/00B24B37/04B24B57/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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