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WO2005008731
Art A2
27. Januar 2005
Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005008731
- Aktenzeichen
- EP04756856
- Anmeldetag
- 9. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 27. Januar 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06F19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS INSTRUMENTS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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