Low-permittivity film, and production method therefor, and electronic component using it

WO2005008762 Art A1 27. Januar 2005

Anmelder: Rorze Corporation, Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005008762
Aktenzeichen: EP04746478
Anmeldetag: 25. Juni 2004
Veröffentlichung: 27. Januar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Rorze Corporation
Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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