Vertical boat for heat treatment, and method of producing the same

WO2005008764 Art A1 27. Januar 2005

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005008764
Aktenzeichen: EP04747426
Anmeldetag: 13. Juli 2004
Veröffentlichung: 27. Januar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/324H01L21/22H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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