Plasma treating apparatus and its electrode structure

WO2005009090 Art A1 27. Januar 2005

Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005009090
Aktenzeichen: EP04770879
Anmeldetag: 22. Juli 2004
Veröffentlichung: 27. Januar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24H01L21/3065H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

1.407 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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