An apparatus and method for generating uniform plasmas

WO2005010917 Art A1 3. Februar 2005

Anmelder: Nanyang Technological University 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005010917
Aktenzeichen: EP04749232
Anmeldetag: 13. Juli 2004
Veröffentlichung: 3. Februar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/04H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nanyang Technological University
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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