Verfahren zur Selbstjustierenden Verkleinerung von Strukturen

WO2005010973 Art A1 3. Februar 2005

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005010973
Aktenzeichen: EP04738709
Anmeldetag: 17. Juni 2004
Veröffentlichung: 3. Februar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316B82B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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