Electrolytic processing apparatus and electrolytic processing method

WO2005012600 Art A1 10. Februar 2005

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005012600
Aktenzeichen: EP04771153
Anmeldetag: 28. Juli 2004
Veröffentlichung: 10. Februar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: C25F7/00H01L21/304H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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