Process for producing wafer

WO2005014898 Art A1 17. Februar 2005

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005014898
Aktenzeichen
EP04771186
Anmeldetag
4. August 2004
Veröffentlichung
17. Februar 2005
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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