Substrate processing apparatus and substrate processing method

WO2005015964 Art A1 17. Februar 2005

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005015964
Aktenzeichen: EP04771199
Anmeldetag: 4. August 2004
Veröffentlichung: 17. Februar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01L21/205H01L21/3065H01L21/30C23C16/505

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

21.154 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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