Vorrichtung zur Lagerung eines Optischen Elementes, insbesondere einer Linse in einem Objektiv

WO2005017622 Art A1 24. Februar 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005017622
Aktenzeichen: EP03818074
Anmeldetag: 17. Juli 2003
Veröffentlichung: 24. Februar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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