Method for microfabricating structures using silicon-on-insulator material

WO2005017972 Art A2 24. Februar 2005

Anmelder: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005017972
Aktenzeichen: EP04781422
Anmeldetag: 16. August 2004
Veröffentlichung: 24. Februar 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Charles Stark Draper Laboratory

Das Charles Stark Draper Laboratory ist eine gemeinnützige US-amerikanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, spezialisiert auf Navigations-, Sensor- und Biotechnologie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Medizintechnik, ergänzt durch Pharma- und Halbleitertechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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