High-Rresoulution Gas Gauge Proximity Sensor

WO2005022082 Art A1 10. März 2005

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005022082
Aktenzeichen: EP04782018
Anmeldetag: 25. August 2004
Veröffentlichung: 10. März 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01B13/00G01B13/12G01B13/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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