Vorrichtung zur Verhinderung des Kriechens eines Optischen Elementes

WO2005022231 Art A1 10. März 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005022231
Aktenzeichen: EP04764310
Anmeldetag: 20. August 2004
Veröffentlichung: 10. März 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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