Phasenverzögerungselement und Verfahren zum Herstellen eines Optischen Phasenverzögerungselementes

WO2005024474 Art A1 17. März 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005024474
Aktenzeichen: EP03785660
Anmeldetag: 25. November 2003
Veröffentlichung: 17. März 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/30C03C17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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