Combined nanoimprinting and photolithography for micro and nano devices fabrication

WO2005029179 Art A2 31. März 2005

Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005029179
Aktenzeichen: EP04809282
Anmeldetag: 13. Februar 2004
Veröffentlichung: 31. März 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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