Sealing ring and its managing system

WO2005031195 Art A1 7. April 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005031195
Aktenzeichen
EP04773520
Anmeldetag
24. September 2004
Veröffentlichung
7. April 2005
Rechtsraum
WO
IPC
F16J15/00F16J15/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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