Sealing ring and its managing system
WO2005031195
Art A1
7. April 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005031195
- Aktenzeichen
- EP04773520
- Anmeldetag
- 24. September 2004
- Veröffentlichung
- 7. April 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F16J15/00F16J15/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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