Two phase flow sensor using tomography techniques

WO2005031279 Art A1 7. April 2005

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC., Shajii, Ali, Nagarkatti, Siddharth P., Smith, John A. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005031279
Aktenzeichen: EP04784400
Anmeldetag: 20. September 2004
Veröffentlichung: 7. April 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01F1/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: MKS INSTRUMENTS, INC.
Shajii, Ali
Nagarkatti, Siddharth P.
Smith, John A.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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