Catadioptric system with high numerical aperture for microlithography

WO2005031425 Art A1 7. April 2005

Anmelder: Sagem Défense Sécurité 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005031425
Aktenzeichen: EP04787442
Anmeldetag: 24. September 2004
Veröffentlichung: 7. April 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Sagem Défense Sécurité
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Sagem Défense Sécurité

Sagem Défense Sécurité war die auf Verteidigungs- und Sicherheitselektronik spezialisierte Sparte des französischen Konzerns Sagem, die im Zuge der Fusion mit Snecma in der Safran-Gruppe aufging. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Nachrichtentechnik und Software, ergänzt um elektrische Energietechnik und Optik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2017.

493 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von