Verfahren zur Bestimmung Optischer Eigenschaften und System zur Erfassung von Wellenfronten Enthaltendes Projektionsbelichtungssystem

WO2005031466 Art A1 7. April 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005031466
Aktenzeichen: EP03757892
Anmeldetag: 26. September 2003
Veröffentlichung: 7. April 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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