Near-field light generating method near-field exposure mask and near-field exposure method and apparatus

WO2005031468 Art A1 7. April 2005

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005031468
Aktenzeichen: EP04773533
Anmeldetag: 24. September 2004
Veröffentlichung: 7. April 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G12B21/06G03F1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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