Selective silicon etch chemistries, methods of production and uses thereof

WO2005031837 Art A1 7. April 2005

Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005031837
Aktenzeichen
EP04784820
Anmeldetag
23. September 2004
Veröffentlichung
7. April 2005
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/306C23F1/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Honeywell International Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Honeywell

US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.

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