Position shift detection mark, wafer, and pattern position shift measurement method

WO2005036589 Art A2 21. April 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005036589
Aktenzeichen: EP04792418
Anmeldetag: 7. Oktober 2004
Veröffentlichung: 21. April 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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