Substrate carrying apparatus, exposure apparatus, and method for producing device

WO2005036622 Art A1 21. April 2005

Anmelder: ZAO NIKON CO., LTD., NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005036622
Aktenzeichen: EP04792153
Anmeldetag: 7. Oktober 2004
Veröffentlichung: 21. April 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20B65G49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ZAO NIKON CO., LTD.
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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