Teaching tool for semiconductor wafer carrying robot

WO2005036635 Art A1 21. April 2005

Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005036635
Aktenzeichen: EP04792301
Anmeldetag: 13. Oktober 2004
Veröffentlichung: 21. April 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B25J9/22B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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