Composition for forming silicon-cobalt film, silicon-cobalt film and method for forming same
WO2005038891
Art A1
28. April 2005
Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005038891
- Aktenzeichen
- EP04792340
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 28. April 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/28H01L21/288B05D3/00B32B15/01C01B33/04C07F17/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JSR Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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