Large area fabrication method based on the local oxidation of silicon and/or different materials on the micro- and nano-scale

WO2005040037 Art A1 6. Mai 2005

Anmelder: Cavallini, Massimiliano, Biscarini, Fabio, Mei, Paolo, CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005040037
Aktenzeichen: EP04765989
Anmeldetag: 19. Oktober 2004
Veröffentlichung: 6. Mai 2005
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cavallini, Massimiliano
Biscarini, Fabio
Mei, Paolo
CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS
Land: 🇮🇹 Italien

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

Größte staatliche Forschungseinrichtung Spaniens mit Sitz in Madrid, tätig in nahezu allen Wissenschaftsbereichen von Naturwissenschaften bis Geisteswissenschaften. Die Institution (CSIC) betreibt zahlreiche Forschungszentren im ganzen Land.

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