Method of making an x-y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging

WO2005043078 Art A2 12. Mai 2005

Anmelder: InvenSense, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005043078
Aktenzeichen: EP04784785
Anmeldetag: 17. September 2004
Veröffentlichung: 12. Mai 2005
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: InvenSense, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 InvenSense

InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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