Extreme ulta violet lithography apparatus

WO2005045530 Art A2 19. Mai 2005

Anmelder: The BOC Group plc 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005045530
Aktenzeichen: EP04768566
Anmeldetag: 20. September 2004
Veröffentlichung: 19. Mai 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: The BOC Group plc
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von