Etching liquid and etching method for low-k film

WO2005045912 Art A1 19. Mai 2005

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005045912
Aktenzeichen: EP04818210
Anmeldetag: 8. November 2004
Veröffentlichung: 19. Mai 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306H01L21/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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