Plasma igniting method and substrate processing method

WO2005048337 Art A1 26. Mai 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005048337
Aktenzeichen: EP04818467
Anmeldetag: 9. November 2004
Veröffentlichung: 26. Mai 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31H01L21/318

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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