Electrostatic Chuck Including A Heater Mechanism

WO2005048341 Art A1 26. Mai 2005

Anmelder: GENERAL ELECTRIC COMPANY, General Electric Company A Corporation of the State of New York 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005048341
Aktenzeichen: EP04818677
Anmeldetag: 9. November 2004
Veröffentlichung: 26. Mai 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GENERAL ELECTRIC COMPANY
General Electric Company A Corporation of the State of New York
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 General Electric

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Massachusetts. Historisch aktiv in Energieerzeugung, Luftfahrttriebwerken, Medizintechnik und Industrietechnik über verschiedene Geschäftsbereiche.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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