Long delay and high tis pulse stretcher

WO2005050799 Art A1 2. Juni 2005

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005050799
Aktenzeichen: EP04810226
Anmeldetag: 1. November 2004
Veröffentlichung: 2. Juni 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10H01S3/22H01S3/223

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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