Method and apparatus for measuring temperature of semiconductor wafer

WO2005052526 Art A1 9. Juni 2005

Anmelder: Digital-Network Corporation, NIPPON CHEMI-CON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005052526
Aktenzeichen: EP04799876
Anmeldetag: 22. November 2004
Veröffentlichung: 9. Juni 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01K1/02G01K1/14H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Digital-Network Corporation
NIPPON CHEMI-CON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nippon Chemi-Con

Nippon Chemi-Con ist ein japanischer Hersteller elektrolytischer Kondensatoren. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstofftechnik. Die Anmeldungen von 2000 bis 2025 betreffen unter anderem Elektrolytkondensatoren für Immersionskühlungen.

298 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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