Method of manufacturing mirrors from joined mirror blanks, x-y interferometer and method of inspecting wafers

WO2005053906 Art A1 16. Juni 2005

Anmelder: Renishaw plc 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005053906
Aktenzeichen: EP04805900
Anmeldetag: 1. Dezember 2004
Veröffentlichung: 16. Juni 2005
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B13/00G03F7/20G03F9/00G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Renishaw plc
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Renishaw

Renishaw ist ein britischer Hersteller von Präzisionsmesstechnik und Metrologiesystemen für die industrielle Fertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch Steuerungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

793 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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