Method for toolmatching and troubleshooting a plasma processing system

WO2005054880 Art A1 16. Juni 2005

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005054880
Aktenzeichen: EP04810622
Anmeldetag: 9. November 2004
Veröffentlichung: 16. Juni 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01R27/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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