Wafer container and door with cam latching mechanism
WO2005055280
Art A2
16. Juni 2005
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005055280
- Aktenzeichen
- EP04811237
- Anmeldetag
- 16. November 2004
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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