Device and method for surface working

WO2005058544 Art A1 30. Juni 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005058544
Aktenzeichen: EP04804021
Anmeldetag: 17. Dezember 2004
Veröffentlichung: 30. Juni 2005
Rechtsraum: WO
IPC: B24B7/17B24B37/04B24B13/015

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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