Apparatus for holding optical element, barrel, exposure apparatus, and device producing method

WO2005064382 Art A1 14. Juli 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005064382
Aktenzeichen: EP04807622
Anmeldetag: 22. Dezember 2004
Veröffentlichung: 14. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/02G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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