Method and apparatus for performing a limited area spectral analysis

WO2005064650 Art A2 14. Juli 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc., Davis, Matthew F., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005064650
Aktenzeichen: EP04815512
Anmeldetag: 23. Dezember 2004
Veröffentlichung: 14. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Davis, Matthew F.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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