Optischer Schalter
WO2005066706
Art A1
21. Juli 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005066706
- Aktenzeichen
- EP04801209
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02F1/31G02F1/1335H04N9/31G02B21/00G02F1/29
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
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