Optischer Schalter

WO2005066706 Art A1 21. Juli 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005066706
Aktenzeichen
EP04801209
Anmeldetag
1. Dezember 2004
Veröffentlichung
21. Juli 2005
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/31G02F1/1335H04N9/31G02B21/00G02F1/29
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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