A low outgassing and non-crosslinking series of polymers for euv negative tone photoresists

WO2005066715 Art A2 21. Juli 2005

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005066715
Aktenzeichen: EP04815699
Anmeldetag: 23. Dezember 2004
Veröffentlichung: 21. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/038

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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