Methods for adaptive real time control of a thermal processing system

WO2005067006 Art A1 21. Juli 2005

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005067006
Aktenzeichen: EP04813433
Anmeldetag: 8. Dezember 2004
Veröffentlichung: 21. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00F25B21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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