An amorphous etch stop for the anisotropic etching of substrates

WO2005067021 Art A1 21. Juli 2005

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005067021
Aktenzeichen: EP04815686
Anmeldetag: 23. Dezember 2004
Veröffentlichung: 21. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/306H01L21/308H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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