Method and apparatus for etching an organic layer

WO2005067024 Art A1 21. Juli 2005

Anmelder: Tokyo Electron Ltd., International Business Machines Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005067024
Aktenzeichen: EP04813474
Anmeldetag: 9. Dezember 2004
Veröffentlichung: 21. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Ltd.
International Business Machines Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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