Sensing component used to monitor material buildup and material erosion of consumables by optical emission

WO2005067450 Art A2 28. Juli 2005

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005067450
Aktenzeichen: EP04800475
Anmeldetag: 5. November 2004
Veröffentlichung: 28. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G21C3/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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