Method and system of coating polymer solution on surface of a substrate

WO2005069077 Art A2 28. Juli 2005

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005069077
Aktenzeichen: EP04795108
Anmeldetag: 13. Oktober 2004
Veröffentlichung: 28. Juli 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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